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准分子激分类及用途:含氟准分子激体。
准分子激是多组份混合气体,其输出波长是稀有气体(或卤素)结合作用的结果。
准分子是稀有气体(或卤化物)的分子的名称。
通过含氟准分子激体能产生四种波长的光波(或谱线)。


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