常用的激光焊接保护气体主要有N2、Ar、He，其物化性质各有差异，也因此对焊缝的作用效果也各不相同。
Au，Cu，Ba，Sn，Pb，Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。
它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。
由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。
因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。

铜蒸汽激光产品可发生100W以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm)，金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。
这两种激光有很多用途，例如血紫质衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm，而癌细胞能吸收此物质。
此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化，发生可癌细胞的物质。
不过，铜蒸汽激光激起染料激光，激光混合气体，也可得到这种光，而不必依托金蒸汽激光。
此外，578 nm的激光能够除去某些胎记，作用优于用氩离子激光。
激光切割机用的激光混合气体，二维激光切割机床用的四元激光混合气体，主要用于钢材的钣金加工。
激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，激光混合气体厂家，还会引起激光发射的不稳定。

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它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。
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重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF，激光混合气， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。
因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。
准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。

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