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准分子激是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。
准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。
通过含氟准分子激体能产生四种波长的光波（或谱线）。
准分子激光是氟氩气体混合后经激发产生的一种人眼看不见的紫外线光束，属冷激光，能消融人预计去除的部分而不损伤周围组织和其他组织。
准分子激光推进了刻蚀、材料研究、汽车制造、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。
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