准分子(Excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。
现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
铜蒸汽激光产品可发生100W以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm)，金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。
这两种激光有很多用途，例如血紫质衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm，而癌细胞能吸收此物质。
此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化，发生可癌细胞的物质。
不过，铜蒸汽激光激起染料激光，也可得到这种光，而不必依托金蒸汽激光。
此外，578 nm的激光能够除去某些胎记，作用优于用氩离子激光。
分子气体：二氧化碳激光和氮气激光是常见的分子气体激光，其主要激光光分属红外线(10，640 nm)及紫外线(337 nm)。
生物组织中的水分会吸收它的10，640 nm激光光，所以能用于手术，所需激光光功率约为50W。
此外，非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光来进行。

气体激光(Gaseous laser)，以气体为自动介质的激光中，包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。
由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。
因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。
如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
Au，Cu，Ba，Sn，Pb，Zn等金属的蒸汽，都是中性原子激光的自动介质。
它们的蒸汽中，常混入低压力的惰性气体，以提高放电效率。

激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。
所以激光机对这些气体的质量要求特别高。
近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，准分子激光气，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。
目元激光混合气体的佳方案组成比例：CO:4%，CO2：8%，He:28%，N2:60%。
这种四元激光混合气体可以是二维激光切割机床达到输出功率，并且大切割钢板厚度达到25mm，还可以更好的保证工件质量。

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