如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。
稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。
除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。

金属蒸汽离子激光中，氦镉(He-Cd)激光是的，氦硒(He-Se)、氦锌(He-Zn)等激光为此家族中之成员。
氦镉激光的325 nm紫外线，和441.6 nm蓝光，是常见的输出。
加上特殊设计时，它可同时发生红光(635.6及636.0 nm)和绿光(533.7及537.8 nm)。
它的短波长成分，在信息处理方面很有用。
适当调配各波长的输出，几乎能够发生一切可见光的颜色，因此它的白光激光产品也是有名的。
储存密度及鉴别能力的提高，使它在量度、查验、记载、印刷等方面有许多使用。
近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。
重要的准分子激光，激光混合气厂，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。
因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。
准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。

近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。
重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。
因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。
准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。
激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。
所以激光机对这些气体的质量要求特别高。

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