近年来CO2激光加工设备虽然渐趋普及，但激光毕竟是一种新的工具，激光加工技术亦不同于传统的加工方法，所以工业界在引进使用CO2激光器的过程中，曾经遇到各种各样的问题，给很多厂商造成不少困扰。
重要的准分子激光，以稀有气体的卤化物为自动介质，如ArF， KrF， XeF， KrCl， XeCl等。
因为受激态常以星号(*)上标表示，所以有些数据上写成ArF*等。
准分子不会天然出现，而是在气体混合物中放电时形成的。
激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，准分子激光气体多少钱，能快速减少镜片的寿命。
所以激光机对这些气体的质量要求特别高。

准分子(Excimer)激光：准分子一词的本意，是「两个同种原子组成，Ne激光气体，而只存在于受激态的分子」，如稀有气体分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名为 Excited Dimer 组合成的术语。
现在现已将它的适用范围放宽，以包含「不存在于基态，只以受激态出现的任何双原子分子(有时还包含三原子分子)」。
分子气体：二氧化碳激光和氮气激光是常见的分子气体激光，其主要激光光分属红外线(10，640 nm)及紫外线(337 nm)。
生物组织中的水分会吸收它的10，640 nm激光光，Ne激光气体供应商，所以能用于手术，所需激光光功率约为50W。
此外，非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光来进行。
激光气体中的发生气体时激光发生器上用来产生激光的气体，对气体质量要求高，激光混合气配制精度要求高，高纯二氧化碳纯度达99.999%，高纯氮气的纯度99.999%，高纯氦气的纯度要求99.999%，二氧化碳是产生激光的，氦气是冷却激光器的，氮气是平衡气体，气体中的水分、氧份、有机气体杂质对激光机的镜片损伤特别大，能快速减少镜片的寿命。
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如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，广东激光气体，防止污染混合气。
稀有气体离子激光中，以氩离子激光及氪离子激光为常见。
除了直接使用之外，氩离子激光常以其紫外线及蓝绿光激起染料激光。

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